TPM5 სერიის დენის კონტროლერი იღებს მოდულის დიზაინის იდეას და აერთიანებს 6-მდე წრეს შიგნით.პროდუქტები ძირითადად გამოიყენება დიფუზიურ ღუმელებში, PECVD, ეპიტაქსიურ ღუმელებში და ა.შ.