TPM5 სერიის სიმძლავრის კონტროლერი
-
TPM5 სერიის სიმძლავრის კონტროლერი
TPM5 სერიის სიმძლავრის კონტროლერი იყენებს მოდულის დიზაინის იდეას და შიგნით აერთიანებს 6-მდე წრედს. პროდუქტები ძირითადად გამოიყენება დიფუზიურ ღუმელებში, PECVD-ში, ეპიტაქსიურ ღუმელებში და ა.შ.