TPM5 სერიის დენის კონტროლერი
-
TPM5 სერიის დენის კონტროლერი
TPM5 სერიის დენის კონტროლერი იღებს მოდულის დიზაინის იდეას და აერთიანებს 6-მდე წრეს შიგნით. პროდუქტები ძირითადად გამოიყენება დიფუზიურ ღუმელებში, PECVD, ეპიტაქსიურ ღუმელებში და ა.შ.